26.60.12.122-00000069 — Спектральный эллипсометр

ОКПД2

26.60.12.122 — Средства измерений массы, силы, энергии, линейных и угловых величин, температуры

Единицы измерения

Штука

Обновлено

2025-02-01

Включено в КТРУ

2020-11-24

Версия

2

Характеристики

• Минимальное значение диапазона длин волн, нм (обязательная): не более 100; не более 200; не более 300; не более 600
• Максимальное значение диапазона длин волн, нм (обязательная): менее 500; не менее 500; не менее 1000; не менее 2000
• Спектральное разрешение, нм: менее 3; 3
• Воспроизводимость, град:
• Точность по толщине, нм: не более 0.01; не более 0.1
• Точность по показателю преломления, град: не более 0.001; не более 0.005
• Максимальный угол падения светового луча, град: менее 70; не менее 70; не менее 90
• Минимальный угол падения светового луча, рад: не более 45; не более 60
• Интервал падения светового луча (шаг), град: не более 2.5; не более 5
• Максимальная толщина, мкм: менее 5; не менее 5; не менее 15
• Минимальная толщина, нм: не более 0.1; не более 0.5; более 0.5
• Диаметр светового луча: не более 1.5 Миллиметр; не более 3 Миллиметр
• Диаметр светового луча с микроприставкой, мкм: 200; 100
• Время измерения на одной длине волны: не более 1.5 Секунда; не более 3 Секунда; не более 5 Секунда; не более 10 Секунда; более 10 Секунда

Родительская укрупнённая позиция: 26.60.12.122-00000070 — Спектральный эллипсометр